特徴
- 「誰でもSEM/EDSを操作できる」がコンセプトの卓上走査電子顕微鏡です。
- 学像を拡大すればSEM像が観察できる「Zeromag」
- 分析装置を立ち上げなくても観察中の視野の元素が分かる「Live Analysis」
- SEM観察中に三次元観察が可能な「Live 3D」等の機能を搭載しました。
- 光学顕微鏡の隣に一台置けば、異物分析や品質管理を、よりスピーディーに、より詳細におこなうことができます。
性能・諸元
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倍率
×10～×100,000
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観察モード
高真空：二次電子像、 反射電子像（組成、凹凸、立体像）、3D
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低真空：反射電子像（組成、凹凸、立体像）、3D
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加速電圧
5kV／10kV／15kV 3段切替
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電子銃
タングステンフィラメント・ウエネルト一体型グリッド小型電子銃
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モーター駆動ステージ
X-Y 2 軸 標準
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オート機能
フルオート、オートフォーカス、オートスティグマ
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オートコントラストブライトネス、オートガンアライメント
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操作
タッチパネル、マウスから選択可能
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最大試料寸法
80 mm 径 × 50 mm 高さ
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価格
6,500,000円～
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